穿透模式下，觀察光學(xué)探針在不同位置的耦合功率變化

反射模式下，觀察芯片反射功率隨距離的變化

雙探頭設(shè)計(jì)，滿足微米級耦合距離 的實(shí)時(shí)監(jiān)控

更高精度要求下，多探頭設(shè)計(jì)，滿足更多維度的監(jiān)控