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融合2D/D缺陷判別測量

激光光學頻率梳掃描，搭載高速CCD相機

適用復雜結構面全自動缺陷及形貌3D測量

融合2D/D缺陷判別測量

激光光學頻率梳原理&高速激光脈沖TOF測試方式

融合2D/D缺陷判別測量

2D 視覺高速拍攝&定位

融合2D/D缺陷判別測量

500kHz激光掃描頻率，同步掃描3D輪廓形貌

融合2D/D缺陷判別測量

同軸落射掃描原理，無懼“遮擋”等復雜結構

融合2D/D缺陷判別測量

2D視覺捕獲缺陷圖片

融合2D/D缺陷判別測量

微米級精度，激光掃描3D缺陷形貌

晶圓耦合高精度定位

激光光學頻率梳原理&高速激光脈沖TOF測試方式

晶圓耦合高精度定位

2D 視覺高速拍攝&定位

晶圓耦合高精度定位

500kHz激光掃描頻率，同步掃描3D輪廓形貌

晶圓耦合高精度定位

同軸落射掃描原理，無懼“遮擋”等復雜結構

晶圓耦合高精度定位

2D視覺捕獲缺陷圖片

晶圓耦合高精度定位

微米級精度，激光掃描3D缺陷形貌

產品參數

融合2D/D缺陷判別測量

非標參數請與工程師聯系:18565137375

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